气压传感器是一种测量周围环境中气体压力的传感器。这些传感器通常包括一个压敏元件,例如挠性金属薄片、半导体材料或陶瓷材料。当受到气体压力作用后,压敏元件会发生微小的形变,并且这种形变会被转换成与压力成正比的电信号输出。气压传感器是一种非常常见的传感器类型,在各个领域都有重要作用。

气压传感器的原理基于压电效应或压阻效应。挠性金属薄片传感器通常采用压电效应,当受到气体压力作用时,金属薄片会产生形变,并且这种形变会引起其表面电荷分布的改变。通过测量这个电荷分布的变化,可以得出与压力成正比的电信号输出。而半导体材料则使用压阻效应,即在不同的压力下产生不同的电阻值。现在的气压传感器作为使用MEMS技术的产品被广泛普及。

MEMS气压传感器主要有两种类型:压电电阻式和静电电容式。

压电电阻式传感器:这种传感器使用了压电材料作为感应元件,使用Si单晶板作为隔膜(压力接收元件),通过在其表面上扩散杂质形成电阻桥电路,将施加压力时产生的变形作为电阻值变化,来计算压力(气压)。当外界压力变化作用于传感器时,压电材料会产生电荷分布的变化,从而导致电阻值发生变化。通过测量电阻的变化可以获得与压力相关的信号。压电电阻式传感器具有快速响应、较高的灵敏度和稳定性,被广泛应用于气压测量、气体流量测量等领域。

图1:压阻电阻式气压传感器

静电电容式传感器:这种传感器利用了静电电容效应。传感器内部有一个微小的空气腔体,当外界压力变化时,腔体的体积会发生微小变化,进而改变了电容值。通过测量电容的变化可以得到与压力相关的信号。静电电容式传感器具有较高的灵敏度和精度,适用于气压测量、液位测量等应用。

这两种传感器各有优势,选择取决于具体应用需求。压电电阻式传感器在快速响应和稳定性方面较好,适用于对动态压力变化敏感的应用;静电电容式传感器具有高灵敏度和较高的分辨率,适用于对静态和微小压力变化的测量。

Honeywell(霍尼韦尔)- Honeywell 是一家知名的传感器制造商,提供各种类型的气压传感器,包括绝对压力传感器和差压传感器。

Bosch Sensortec(博世传感器技术) - Bosch Sensortec 专注于MEMS(微机电系统)传感器技术,其产品线包括气压传感器,广泛应用于手机、智能手表和其他移动设备中。

Sensirion(森赛龙)- Sensirion 是一家瑞士公司,专注于各种环境传感器,包括气压传感器。他们提供高精度的数字式气压传感器,适用于工业、医疗和消费电子等领域。

Freescale Semiconductor (飞思卡尔半导体)- Freescale Semiconductor 是一家全球领先的半导体制造商,他们提供各种型号和规格的气压传感器,可应用于汽车、工业和消费电子等领域。

TE Connectivity(泰科电子)- TE Connectivity 是一家综合性电子元器件制造商,他们提供气压传感器解决方案,用于航空航天、汽车、医疗和工业等领域。