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压电(Piezo)
何谓压电?
压电表示压电元件(Piezoelectric Element、Piezoelectric Device),压电元件是指通过施加力(压力)产生电压(压电效应),或与之相反,通过施加电压产生变形(逆压电效应)的元件。
压电元件使用具有压电效应的压电材料。施力时,(+)正离子、(-)负离子的位置会移动,产生(+)和(-)电荷的偏移(电极化),从而产生电压。
利用压电效应的主要用途是传感器,利用逆压电效应的主要用途是执行机构。
压电材料的种类
薄膜压电和块体压电
大致将厚度约为几μm的叫作薄膜压电(压电薄膜),几十μm以上的叫作块体压电(厚膜压电)。 利用薄膜压电可以实现元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。
薄膜PZT的成膜方法
生成薄膜PZT的方法有溶胶凝胶法、溅射法、MOCVD法等。下表汇总了其各自的特点。