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薄膜压电mems [2023/05/24 10:28]
meiling [3、MEMS工艺] 		薄膜压电mems [2023/05/24 10:28] (当前版本)
meiling
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 **块体压电：**指压电材料的厚度为几十μm以上的压电元件 **块体压电：**指压电材料的厚度为几十μm以上的压电元件
  
-## MEMS+## 3、MEMS
 ### 何谓MEMS？ ### 何谓MEMS？
 MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。 MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。