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薄膜压电mems [2023/05/24 10:22]
meiling 		薄膜压电mems [2023/05/24 10:28] (当前版本)
meiling
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-## 压电（Piezo）+====== 薄膜压电MEMS ====== 
 +https://​www.rohm.com.cn/​electronics-basics/​piezo 
 +## 1、压电（Piezo）
 ### 何谓压电？ ### 何谓压电？
 压电表示压电元件（Piezoelectric　Element、Piezoelectric Device），压电元件是指通过施加力（压力）产生电压（压电效应），或与之相反，通过施加电压产生变形（逆压电效应）的元件。 压电表示压电元件（Piezoelectric　Element、Piezoelectric Device），压电元件是指通过施加力（压力）产生电压（压电效应），或与之相反，通过施加电压产生变形（逆压电效应）的元件。
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 罗姆的薄膜压电MEMS代工为实现融合自有薄膜压电和LSI微细加工技术的小型、节能、高性能产品，提供从试制、开发到量产的全程支持。 罗姆的薄膜压电MEMS代工为实现融合自有薄膜压电和LSI微细加工技术的小型、节能、高性能产品，提供从试制、开发到量产的全程支持。
  
-## 压电相关术语+## 2、压电相关术语
 **压电(Piezo)：**指压电元件（piezoelectric element、piezoelectric device） **压电(Piezo)：**指压电元件（piezoelectric element、piezoelectric device）
  
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 **块体压电：**指压电材料的厚度为几十μm以上的压电元件 **块体压电：**指压电材料的厚度为几十μm以上的压电元件
  
-## MEMS+## 3、MEMS
 ### 何谓MEMS？ ### 何谓MEMS？
 MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。 MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。
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 罗姆的薄膜压电MEMS代工运用自身拥有的先进薄膜压电技术和MEMS加工技术，以及得到了量产业绩印证的先进生产技术，为实现小型、节能、高性能产品，提供从试制、开发到量产的全程支持。 罗姆的薄膜压电MEMS代工运用自身拥有的先进薄膜压电技术和MEMS加工技术，以及得到了量产业绩印证的先进生产技术，为实现小型、节能、高性能产品，提供从试制、开发到量产的全程支持。
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 +## 4、MEMS相关术语
 +关于MEMS相关术语的简要说明。
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 +**MEMS**:​Micro Electro Mechanical Systems的缩写。具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的元件、系统的统称。
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 +**各向同性蚀刻**:​利用自由基沿深度方向、横向进行的蚀刻
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 +**各向异性蚀刻**:​利用离子沿深度方向进行的蚀刻
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 +**博世工艺**:​Si深度蚀刻的主要技术。组合了各向同性蚀刻与各向异性蚀刻的技术
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 +**扇贝形貌**:​利用博世工艺形成的侧壁的凹凸形状
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 +**SOI晶圆**:​Silicon On Insulator的缩写。在氧化膜上形成了单晶硅层的硅晶圆。
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 +**TAIKO磨削**:​磨削晶圆时保留最外围的边缘，只对其内侧进行磨削的技术 ＊“TAIKO”是DISCO株式会社的商标
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 +**支撑晶圆**:​为满足薄晶圆的处理和工艺的需要而用作支撑的晶圆
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 +**晶圆粘合**:​为满足薄晶圆的处理和工艺的需要而粘合支撑用基板（支撑晶圆）
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 +**晶圆键合**:​以封装等为目的进行的晶圆之间的键合
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 +**ALD（原子层沉积）**:​分步逐层沉积原子的成膜方式。
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